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无掩模光刻机

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托托科技是一家是专注于光学显微加工及检测的光学设备制造厂商。目前公司拥有五个核心产品线:

(A)无掩膜光刻机

(B)磁学产品

(C)多模态光电显微镜

(D)超高精度3D打印

(E)3D显微镜

已经形成了集设计、研发、制造、销售及客户咨询服务为一体的高科技企业,致力于给客户提供技术支持,以专业技术和细致设计造就高品质,以耐心服务和企业担当赢得良好口碑。

公司旗下产品的品牌名称为TuoTuo,拥有中国及新加坡两个研发中心,其中托托科技(苏州)是中国区业务的运营主体,TuoTuoTechnology(Singapore) Pte.Ltd. 是国际业务的运营主体。




无掩膜版紫外光刻机,超高精度3D光刻产品,形貌表征产品,光电光谱分析产品,3D成像显微物镜,磁光电联合分析

托托科技推出的无掩模光刻机采用前沿的技术,提供了多种型号以满足不同的需求。这些光刻机基于空间光调制器原理,摆脱了传统实体掩模的限制,以其高精度、高效率和高灵活性而受到用户的青睐。我们主要应用于科学研究、小批量多种类的生产等领域,如掩模版制造、二维材料器件、微流道芯片和MEMS器件等。托托科技的光刻机产品线包括多个版本可供选择:

科研版(ACA系列):此型号基于空间光调制技术,实现了数字掩膜光刻。它具有长寿命、高功率的紫外光源,设备稳定且操作简单。其特色功能包括原位光绘和交互式套刻指引,使得光刻和套刻更加精准和容易。

教育版(Young):这是一款桌面型无掩膜光刻机,灵活小巧,非常适合用于微电子、集成电路等领域的实验课程。

高速版(Speed):这个版本具备更快的加工速度和更强的设备性能,适用于小批量生产制造。


托托科技的无掩模光刻机具有多种优势,如无需掩模版的灵活性、高加工精度(可达400 nm)、高速度(可达1200 mm²/min)以及大加工幅面(可达2 m²)。此外,我们还提供了4096阶的灰度光刻能力,能够构建出具有高度复杂且细腻层次变化的微观结构或图案。


托托科技的光刻机凭借其性能和灵活的技术,在多个高科技领域得到了广泛应用。无论是二维材料的精准加工、微流控芯片的复杂制作,还是MEMS器件的精细制造,托托科技的光刻机都能提供高效解决方案。同时,它在微透镜、光学衍射器件、浮雕结构、超表面以及量子光学等前沿领域也展现出强大的应用潜力,为科学研究和技术创新提供了有力支持。




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