IRG080电离真空计

IRG080电离真空计

离子基准真空计 IRG080 是专为在真空系统中精确测量总压而开发的一款真空传感器。IRG080 基于创新的电离真空计概念（热阴极发射电子以直线路径进入法拉第杯），适用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范围内的参考标准。

IRG080 具有的精度（低至 1%）、可预测的气体灵敏度（极小的差值）、非常好的短期重复性和再现性。该仪器是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示和操作单元连接和控制。

优势

1，专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发

2，电极系统配置符合 ISO TS 6737 标准

3，相对气体灵敏度可预测，不确定性小，可测量所有气体种类的真实压力

4，电子发射稳定，不受 ESD 或 X 射线效应的影响

5，可重复，易于运输

6，烘烤温度可达 165 °C（带耐温电缆），不带连接器单元时烘烤温度可达 400 °C

7，可提供用于磁屏蔽的 Mu 金属中间件

运营单元

离子参考计控制器 IRC081

参考标准

氮气精度低于 1

可预测的气体灵敏度，误差极小（<1.5）

真正的总压测量

非常佳的短期重复性（<1%）和再现性（<1）

测量原理

电子离开阴极（左侧），被阳极加速到 200 eV，然后被离子收集器聚焦。电子路径的长度具有良好的特性，因此仪器的灵敏度是可以预测的。电子在阳极栅内产生的离子被加速到收集器，并以电流形式测量。阳极栅外产生的离子会被偏转器捕获。

一个完整的套餐

通过离子参考规控制器 IRC081 的操作和显示界面

用户可控制 IRG080 仪器参数

在 IRC081 用户界面软件 (LabVIEWTM) 中显示设置和测量值

数据和参数记录功能

IRG080电离真空计