近距离有机物蒸发镀膜炉
| 参考价 | ¥ 90000 |
| 订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/21 10:17:41
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| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
简单介绍：
近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
详情介绍：
近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
近距离蒸发镀膜炉产品特点：
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。
近距离蒸发镀膜炉技术规格：
产品名称 | 5英寸近距离蒸发镀膜炉 | |
产品型号 | CY-EVH350JJL-5"-Q | |
样品台 | 外形尺寸 | 5"x5" |
转速 | 1-20RPM | |
可调温度 | ≦950℃ | |
热蒸发源 | 20个红外灯管作为加热元件 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
观察窗口 | 100 mm | |
腔体材质 | 高纯石英 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） | |
真空系统 | 配有一套分子泵系统 | |
系统真空 | 1×10-5Pa | |
流量计 | 两路浮子流量计 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作温度 | 每个加热器的*高温度：RT-950℃。 两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部 | |
温控系统 | 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护 | |
水 冷 | 循环水冷机（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | 208V 60HZ 三相 |
整机尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
采购中心
化工仪器网