CY-EBH500-SS 卷绕式高真空蒸发镀膜仪
参考价 | ¥ 90000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-EBH500-SS
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/21 10:07:22
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
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应用领域 | 文体,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
简单介绍:
卷绕式高真空蒸发镀膜仪可用于不同种类的材料的薄膜生长,大多数金属和某些有机材料薄膜,如金属、半导体、氧化物等。
详情介绍:
本仪器是一种高真空蒸发镀膜仪,钨丝篮(或钨舟)用作蒸发源,并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好。 该腔室配有观察窗,因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的真空10E-4Pa,可有效提高涂层质量,并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境。
用途:
可用于不同种类的材料的薄膜生长,大多数金属和某些有机材料薄膜,如金属、半导体、氧化物等。
技术参数:
产品名称 | 卷绕式高真空蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供电电压 | 单相,AC220V, 50Hz | |
真空腔体 | 内壁处理 | 电解抛光 |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
腔体尺寸 | 卧式Φ600mm×500mm | |
观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
开启方式 | 前开门式 | |
卷绕系统 | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min(可调) | |
张紧 | 可调 | |
蒸发源和电源 | 部件数量 | 1套金属蒸发源,带独立挡板 |
电极电压 | 10V | |
送丝速度 | ≤3m/min | |
蒸发电流 | 功率2KW,*大电流为160A,调节精度为1A | |
蒸发器 | 钨舟,1个 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,抽速1.1L/s |
涡轮分子泵 | 抽速:600L/s; 额定转速:24000rpm; 启动时间:≦4.5min 冷却方式:水冷+空冷 进气接口:ISO150 出气接口:KF40 真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的时间少于40分钟 | |
复合真空计 | 测量范围 105Pa~10-5Pa | |
膜厚监测仪 | 测量精度 | 0.1Å |
测量速度 | 100ms-1s/次 | |
可设置测量范围 | 500000Å(铝) | |
标准传感器晶体 | 6MHz | |
适用晶体尺寸 | Φ14mm (标配10片) | |
空压机 | 作用于电控气动阀 | |
水冷机 | 冷却水温度:≦37℃ 流速:10L/min 功率:0.1KW 冷却功率:50W/℃ 水箱容量:9L | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 |