膜硅厚度 KAKUHUNTER写真化学 红外透射膜厚监测仪

KAKUHUNTER写真化学 红外透射膜厚监测仪

KAKUHUNTER写真化学 红外透射膜厚监测仪

 特征

红外透射膜厚监测仪可测量电池隔膜等半透明片材、黑色抗蚀剂、硅等低反射膜的厚度。这是一款红外吸收式薄膜测厚仪，可用于从实验室水平到生产过程中100%在线检测的所有情况。

这是一种红外薄膜测厚仪，采用由紧凑型镜面探头组成的透射光学系统，可通过 100 多个波长的光谱同时精确测量薄膜厚度、密度和成分等多个参数。

1测量半透明片、低反射膜、硅等

的厚度，这是使用光学干涉测量法难以做到的。

2小型光纤探头

采用小型30mm反射探头，

可安装在设备或生产线内的狭小空间内。另外，探头

与主体仅通过光纤

连接，因此具有优异的耐环境性。

3高速测量100多个点同时采样

950至1650 nm的近红外波长

可以实现短至 1 毫秒的高速采样。

可在生产线上进行实时检测和测量。

由于不会旋转干涉滤光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。

4厚度测量重复性0.1%以下（3σ）

5两种可选的测量算法

测量算法校准样品测量目标

兰伯特-比尔法 1 种 仅厚度 

最小二乘回归法 2种以上 多重（厚度、密度、特定成分的混合量等） 

测量示例（锂离子电池隔膜）

可以同时测量厚度和涂层重量。

测量示例（硅基板上的黑色抗蚀剂膜厚）

现在可以测量硅基板上黑色抗蚀剂的厚度，这对于使用反射光谱的光学干涉膜厚计来说是很难做到的。

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

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