结晶度 KAKUHUNTER写真化学 多孔薄膜膜厚监测仪

KAKUHUNTER写真化学 多孔薄膜膜厚监测仪 

KAKUHUNTER写真化学 多孔薄膜膜厚监测仪 

反射式膜厚监测仪是一种反射分光式膜厚计，采用小型反射探头并采用光学干涉测量法，可应用于从实验室水平到生产过程中在线100%检查的所有情况。它具有出色的可维护性，可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

最多可同时测量 9 种透明薄膜。

它具有出色的可维护性，可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

例如，它可以用作成膜、抛光和蚀刻过程中的在线监控器或终点监控器（终点检测传感器），并可以实时监控膜厚。它

还可用于评价多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。

  通过使用高度为30毫米的小型探头，可以安装在设备内部的狭小空间内。

使用有效介质近似（EMA）法计算混合层的混合比并测定结晶度

光学常数分析

操作示例 1：Endpoint Monitor 演示 1

操作示例 2：Endpoint Monitor 演示 2

推荐环境条件

温度：设定点在18至45℃范围内 

长期变化：±2.0℃/24小时以上（标准设定值） 

短期变化：±1.0℃/1小时x 1个周期（参考设定点） 

湿度：45%±20%（无凝露） 

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、离心机，下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。