ZYYF-25-15-D 精密气浮光学平台

【产品特点】

■甄耀言科技科技研发生产的精密气浮光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求，且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案，改善振动环境，以发挥设备仪器的最佳效能

■适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱实验等领域应用

■优异的隔振性能：内置精密空气弹簧隔振系统，具备优秀的固有频率，对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果，避免外界振动干扰设备仪器精度，提高仪器设备使用精度和使用效率

■自动调节水平功能：放置负载的位置发生变化，平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气 压，自动保特水平。

■气动元器件全部执行德国FEST0产品，标配优质压缩机

■精密气浮光学平台台板采用SUS430优质高导磁不锈钢，具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有6螺孔阵列，易于固定光学元件

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠

■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用

【技术指导】

■平面度:≤0.05mm

■减振效率：x方 向 < 5Hz时：88%~94% y方 向 < 5Hz时：86%~92%

■x方向<10Hz时：92%~98% y方向<10Hz时：90%~95%

■表面粗糙度：≤0.8μm

■固有频率：x 方向：1.2Hz~2.0Hz y方向：1.2Hz~2.0H2

■振幅：<1.2 μm

■重复定位精度：±0.05mm

【产品选型表】