GENxcel R&D 分子束外延MBE

1. 产品概述

屡获殊荣的新型 GENxcel™ 系统是在 GENxplor 的基础上进行的扩展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以来畅销的 MBE 系统，与 GENxplor 系统的 3“ 功能相比，在单个 4 英寸衬底上具有高质量的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统、12 个源端口和集成到单框架设计中的现代电子设备，可实现大的实验室占地面积效率。

在直径达 4 英寸的衬底上实现高质量外延层

单帧架构提高了易用性，提供了便捷的源访问和增强的可服务性

高效的一体化设计将手动系统与机载电子设备相结合，与其他 MBE 系统相比，可节省 40% 的实验室空间

非常适合对各种材料进行沿研究，包括砷化镓、氮化物和氧化物

Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录

可选的 Nova™ 超高温基板加热器，可在 1850° 下提供经过验证的性能

可直接扩展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统