GEN10 分子束外延MBE

1. 产品概述：

GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统，允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高，允许多个研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合，是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素，无论应用是什么。

自动晶圆转移可实现高系统利用率，允许多名研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准

经济地升到其他增长模块的路径，多三个

集群架构中可配置的、特定于材料的生长模块可在一个真空系统中生长不相容的材料

直接通往更大规模生产 MBE 系统的工艺路径 

GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统，允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高，允许多个研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合，是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素，无论应用是什么。