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IVG-2020/3020 半自动单轴减薄机

具体成交价以合同协议为准

公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
品牌 特思迪
型号 IVG-2020/3020
产地
厂商性质 经销商
更新时间 2025/6/5 20:28:46
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产品标签

减薄机

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

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半自动单轴减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备，采用手动装片方式，配置自动厚度测量和补偿系统，可自动研削至目标值。工作台可根据客户需求进行定制化，应用广泛。

功能全面

自动厚度测量多段研削程序超负载等待

操作灵活

人工取放片干进湿出

兼容性好

可磨削各类半导体材料适应2-12英寸晶圆减薄

性能参数

项目	IVG-2020	IVG-3020
最大晶圆尺寸	8 英寸	12 英寸
砂轮规格	Ø203(OD)mm	Ø303(OD)mm
砂轮轴功率	6.0kW	9.5kW
砂轮轴转速范围	0~6000 RPM	0~4000 RPM
工作台转速	0~380 RPM	0~380 RPM
Z轴进给速度	0.1~1000 um /sec	0.1~1000 um /sec
厚度在线测量范围（OMM）	0-4800um	0-4800um
厚度在线测量重复精度	±0.001 mm	±0.001 mm
NCG非接触实时测厚系统	可选配	可选配

IVG-2020/3020 半自动单轴减薄机

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