| 应用领域 | 化工,综合 |
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SUPER TECH ST系列质量流量控制器是新一代工业微机电的产品，采用基于微机电系统（MEMS）的流量传感器，适用于广泛的气体流量精密测量领域。
ST系列量程覆盖范围10sccm-20slpm（氮气等效），控制范围从1%满量程到100%满量程。
提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）数字信号或模拟信号（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的电源电压为15-32V。
ST系列紧凑设计只有68mm的长度和80mm的高度，高度是传统产品尺寸的3/5，并且本产品可以在360°
任意角度下安装使用。
应用及案例
● 气相色谱仪
● 配气仪
● 真空镀膜
● 泄漏检测
● 生物发酵
● 食品和制药
● 实验室等
SUPER TECH ST系列质量流量控制器产品特点
● 响应时间≤600毫秒
● 控制范围从 1% 到 100% 满量程
● ±0.8% 设定点精度
● 温度和压力影响不敏感
● 结构紧凑小巧易于安装
● 良好的重复性
性能指标
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