D240 TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修

半导体专用温控装置（Semiconductor Chiller）主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置，主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。

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半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理，高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力，以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求，控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁，将热量带入半导体专用温控设备，从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现工艺过程的温度控制。

2023年半导体专用温控装置市场规模约46.9亿元，2019-2023年年复合增长率CAGR约为 %，预计未来将持续保持平稳增长的态势，到2030年市场规模将接近70.2亿元，未来六年CAGR为6.0%。

半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理，高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力，以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求，控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁，将热量带入半导体专用温控设备，从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现工艺过程的温度控制。

可维修D240 ，AQA-K09，P-12XL探针台冰水机

半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理，高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力，以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求，控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁，将热量带入半导体专用温控设备，从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现工艺过程的温度控制。