MEMS Probe 压电力学探测器

压电力学探测器

压电驱动器参数：

l  弯曲导轨可实现最小倾斜度的线性运动

l  行程范围为1 mm

l  力至100 n

l  刚性和无侧隙结构

l  可提供集成位置传感器

l  压电执行器的使用寿命

l  理想的OEM致动器，用于自适应系统技术中的力生成，用于纳米压印工艺或机床

l  具有更长行程范围、更短响应时间或无磁性的定制版本

l  纳米定位

l  高速切换

l  膜片钳

l  微量点胶

l  自适应系统技术/自动化

l  光子/集成光学

l  生物技术

使用寿命

压电执行器均为陶瓷绝缘。这可以保护它们不受湿度和漏电流增加引起的故障的影响。执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。证明了1000亿次循环中没有一次故障。

零间隙柔性导轨具有较高的导向精度

柔性导轨无需维护、摩擦和磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

可搭配新型MEMS探针。

这些新型MEMS探针具有更大的弹性和热稳定性，因为它们具有更坚固的组件和新的几何形状，类似于去年推出的0.025N/m探针。此外，它们使我们能够在96个微孔板内对探针进行小型化测量。新型MEMS探针的刚度分别为0.25±0.07和3.5±0.7 N/m。半径为R=3、10、25、50μm的0.25和3.5 N/m探针将取代目前的0.5 N/m和5 N/m带状悬臂探针。

由于光纤和悬臂之间的间隙更大，波长扫描具有更多的条纹。我们建议增加激光功率以提高信噪比。

MEMS探针的校准应在聚四氟乙烯基板上进行，尤其是在空气中由于静电力的存在而进行测量时。Teflon基板将与探头一起发送。由于悬臂共振频率的变化，开环阶段（阶跃而非连续运动）的表面程序可能会显示悬臂上的振动。如果系统过早停止查找表面程序，则减小步长或增加灵敏度（阈值）。如果使用闭环压痕（压痕-或负载控制），则变形率（压痕速度）或最大压痕深度或负载不会发生任何变化，因为闭环操作测量不取决于探针刚度。如果使用开环压痕（位移控制），样品将以较低的变形率（压痕速度）进行测量，并且与使用相同位移轮廓但更硬的探针（0.5和5 N/m）相比，使用0.25和3.5 N/m探针将达到较低的压痕深度或载荷。您可以通过增加压电速度和位移来相应地调整位移轮廓。

激光功率调整

MEMS的较大空腔导致信号的强度较低。为了增加信噪比，可以增加激光功率。您可以将其增加到25.12 mW的最大激光功率。然后，继续正常校准程序。因此，您将看到波长扫描后的增益设置低于使用最小激光功率时的增益设置。如果测量是在空气中进行的，则将激光功率从最大功率降低到较低功率，因为空气中的信号强度高得多，并且最大激光功率可能导致信号饱和，这将导致波长扫描后的平坦线。

使用要点

当在液体（如水、培养基）中进行测量时，您可以通过将探针盒上给出的值除以培养基的折射指数（如n=1.33）来验证您的校准几何因子。如果几何因素不符合预期：

-在校准过程中，检查探针是否与基板接触。

-用异丙醇（1-2毫升，持续0.5-1分钟）清洁探针和基底，然后用水冲洗以去除任何残留物。

-校准后，通过在基板上按与校准相同的距离（通常为3000 nm）从接触处压痕，检查解调圆以及压电和悬臂信号之间的重叠。