APS系列 感应式碳化硅长晶炉
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- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 北方华创
- 型号 APS系列
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 12:23:41
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1. 产品概述
APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
2. 设备用途/原理
APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。创新的结构设计，提供高纯材料生长能力。智能的运行 / 监控系统，适于长时间 / 高温 / 低压工艺，拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口。包含多款辅助设备：大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备。
3. 设备特点
晶体尺寸 6、8 英寸，加热方式 感应加热，适用材料 碳化硅、氮化铝，适用工艺 物理气相输运法（PVT 法），适用域 科研、化合物半导体。
采购中心
化工仪器网