Pallas A220 碳化硅快速热退火系统
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- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 北方华创
- 型号 Pallas A220
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 12:21:38
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1. 产品概述
Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。
2. 设备用途/原理
Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6/8 英寸兼容，适用工艺 快速热退火。适用域 科研、化合物半导体。碳化硅快速热退火系统是一种特殊的加热设备，能够在短时间内将碳化硅材料迅速加热到高温，并通过快速冷却的方式使其达到非常高的温度梯度。这种系统的主要应用领域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制备、SiC材料晶体生长以及抛光后退火等。
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