Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 北方华创
- 型号 Sitara TA230A
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/6/5 12:19:54
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1. 产品概述
Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统，适用于 260-1200℃快速热处理工艺。
2. 设备用途/原理
Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统，适用于 260-1200℃快速热处理工艺，高精度温度控制，提供优异工艺，低成本，高产能。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12 英寸，适用工艺 快速热退火、快速热氧化、金属硅化。适用域 科研、集成电路。此外，12英寸单片快速热退火系统的应用还涉及到泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务等领域，展示了其在半导体制造中的重要角色。这种系统的发展和应用，对于推动半导体技术的进步和促进相关产业的发展具有重要意义。
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