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FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

具体成交价以合同协议为准

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上海攸亦光电科技有限公司是一家专注于光谱技术和应用开发的科技企业,提供紫外,可见,近红外,中红外到太赫兹范围的光电产品,包括光学元件,光学仪器,光谱仪,光学机械,成像系统,以及各种定制产品和服务。为科研院所和企业客户提供专业的应用咨询和产品解决方案。



光学元件、光学仪器、光纤器件、光学成像、光机械

产地类别 国产 产品种类 电动
价格区间 面议 应用领域 综合

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

l行程覆盖30mm、50mm

l坚固的台身设计

l真空环境使用

l免费标准版SDK

产品简介

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台:在FMS80R系列基础上,我们设计了FMS80VR系列真空专用位移台。FMS80VR广泛适用于真空环境的应用中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运⾏。

产品应用

l激光打靶

l器件调整

l高能物理

性能实测

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

接线定义

电气接口

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

产品图纸

FMS80VR-30

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

FMS80VR-50

FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台

产品参数

Model

FMS80VR-30

FMS80VR-50

⾏程(mm)

30

50

负载(Kg)

10

5

分辨率(μm)

0.625

0.625

最⼩步进量(μm)

1

1

单向重复定位精度/保证值(μm)

±1

±1

单向重复定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

双向重复定位精度/保证值(μm)

±2

±2

双向重复定位精度/典型值(μm)

±1

±1

定位精度/保证值(μm)

±10

±10

定位精度/典型值(μm)

±5

±5

最⼤速度(mm/s)

10

10

直线度(μm)

10

10

平整度(μm)

10

10

偏摆

20

30

俯仰

20

30

重量(kg)

2.8

2.8





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