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FMSS系列方台面整体平移台

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上海攸亦光电科技有限公司是一家专注于光谱技术和应用开发的科技企业,提供紫外,可见,近红外,中红外到太赫兹范围的光电产品,包括光学元件,光学仪器,光谱仪,光学机械,成像系统,以及各种定制产品和服务。为科研院所和企业客户提供专业的应用咨询和产品解决方案。



光学元件、光学仪器、光纤器件、光学成像、光机械

产地类别 国产 产品种类 电动
价格区间 面议 应用领域 综合

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS系列方台面整体平移台

l行程覆盖38mm、48mm

l⽅形台面设计

l集成式⼀体化交叉滚柱导轨

l静音位移台

l免费标准版SDK

l高性能控制器

l可选配EtherCAT总线控制

产品简介

FMSS系列方台面整体平移台:精度高和机身尺寸小兼而有之的运动控制产品非常难于设计。我们经过三年研发,反复测试,终于推出了该系列产品,并成功应⽤于商业化原子力显微镜。FMSS系列产品采⽤进口直线电机,集成⼀体式交叉滚柱导轨和光栅尺,速度均匀性波动在千分之⼀以内。在保证精度、承载前提下,将体积压缩至最小。

产品应用

l激光打靶

l晶圆打磨

l激光工业

l美医疗

l高级仪器设备

l原⼦力显微镜

性能实测

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS系列方台面整体平移台

接线定义

电机接⼝

FMSS系列方台面整体平移台

反馈接⼝

FMSS系列方台面整体平移台

产品图纸

FMSS90C-38

FMSS系列方台面整体平移台

FMSS125C-48

FMSS系列方台面整体平移台

产品参数

Model

FMSS90C-38

FMSS125C-48

行程(mm)

38

48

负载(Kg)

4

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

最⼩步进量(μm)

0.3

0.3

单向重复定位精度/保证值(μm)

±0.3

±0.5

单向重复定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.3

双向重复定位精度/保证值(μm)

±0.6

±1

双向重复定位精度/典型值(μm)

±0.3

±0.5

定位精度/保证值(μm)

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

最⼤速度(mm/s)

100

100

直线度(μm)

5

5

平整度(μm)

5

5

偏摆(arcsec)

10

10

俯仰(arcsec)

10

10

持续推力(N)

6

17.6

峰值推力(N)

24

88

重量(kg)

1.1

2.1





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