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FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

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上海攸亦光电科技有限公司是一家专注于光谱技术和应用开发的科技企业,提供紫外,可见,近红外,中红外到太赫兹范围的光电产品,包括光学元件,光学仪器,光谱仪,光学机械,成像系统,以及各种定制产品和服务。为科研院所和企业客户提供专业的应用咨询和产品解决方案。



光学元件、光学仪器、光纤器件、光学成像、光机械

产地类别 国产 产品种类 电动
价格区间 面议 应用领域 综合

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

l行程覆盖50mm、100mm、150mm与200mm

l坚固的台⾝设计

l高分辨率的光栅编码器

l静音位移台

l免费标准版SDK

l高性能控制器

l可选配EtherCAT总线控制

产品简介

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台:在光机领域,科研和业客追求速、精度、稳定性、性价比我们根据多年电动位移台设计经验,开发了全新的产品-FMS115Z直线电机位移台。以优异的性能,具有竞争的价格,以取代传统伺服电机+丝杠结构位移台。

FMS115Z配有100nm精度光栅尺以保证位移台重复定位精度。

产品应用

l生命科学

l精密测量

l半导体

l航空领域

l激光

l自动控制⼯业

性能实测

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

接线定义

电机接⼝

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

反馈接⼝

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

产品图纸

FMS115Z-50

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

FMS115Z-100

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

FMS115Z-150

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

FMS115Z-200

FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

产品参数

Model

FMS115Z-50

FMS115Z-100

FMS115Z-150

FMS115Z-200

⾏程(mm)

50

100

150

200

负载(Kg)

20

10

20

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

0.1

0.1

最⼩步进量(μm)

0.3

0.3

0.3

0.3

单向重复定位精度/保证值(μm)

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

单向重复定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度/保证值(μm)

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

定位精度/保证值(μm)

±2

±2

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±1

±1

±1

±1

最⼤速度(mm/s)

200

200

200

200

直线度(μm)

5

5

5

5

平整度(μm)

5

5

5

5

偏摆(arcsec)

10

15

15

20

俯仰(arcsec)

10

15

15

20

持续推⼒(N)

35.2

17.6

35.2

17.6

峰值推⼒(N)

176

88

176

88

重量(kg)

3

2.9

4.4

4





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