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FMS115Z系列高精度直线电机位移台

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韵翔光电 是一家专注于光谱科技和应用开发的企业,提供紫外,可见,近红外到中红外范围的产品,包括光谱应用系统,光谱仪,光源,光纤,积分球,光学元件,光学机械,二次应用开发等产品和服务。为科研院所和企业客户提供专业的应用咨询服务和产品解决方案。韵翔光电专业代理美国Edmundoptics,美国Thorlabs,德国Layertec,美国Inphotonics,美国FJW,美国Ocean Optics等品牌的产品,能够为客户提供专业的产品*和售后技术支持,提供设计开发解决方案。

 

光谱应用系统,光谱仪,光源,光纤,积分球,光学元件,光学机械

产地类别 国产 产品种类 电动
价格区间 面议 应用领域 综合

FMS115Z系列高精度直线电机位移台产品介绍

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

l   ⾏程覆盖50mm、100mm、150mm与200mm

l   坚固的台⾝设计

l   高分辨率的光栅编码器

l   静音位移台

l   免费标准版SDK

l   高性能控制器

l    可选配EtherCAT总线控制

产品简介

在光机领域,科研和业客追求速、精度、稳定性、性价我们根据多年电动位移台设计经验,开发了全新的产品-FMS115Z直线电机位移台。以优异的性能,具有竞争的价格,以取代传统伺服电机+丝杠结构位移台。

FMS115Z配有100nm精度光栅尺以保证位移台重复定位精度。

产品应用

l   生命科学

l   精密测量

l    半导体

l    航空领域

l    激光

l    自动控制⼯业

性能实测

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

接线定义

电机接⼝

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

反馈接⼝

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

产品图纸

FMS115Z-50

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

FMS115Z-100

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

FMS115Z-150

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

FMS115Z-200

FMS115Z系列高精度直线电机位移台 

产品参数

Model

FMS115Z-50

FMS115Z-100

FMS115Z-150

FMS115Z-200

⾏程(mm)

50

100

150

200

负载(Kg)

20

10

20

10

分辨率(μm)

0.1

0.1

0.1

0.1

最⼩步进量(μm)

0.3

0.3

0.3

0.3

单向重复定位精度/保证值(μm)

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

单向重复定位精度/典型值(μm)

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度/保证值(μm)

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度/典型值(μm)

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

定位精度/保证值(μm)

±2

±2

±2

±2

定位精度/典型值(μm)

±1

±1

±1

±1

最⼤速度(mm/s)

200

200

200

200

直线度(μm)

5

5

5

5

平整度(μm)

5

5

5

5

偏摆(arcsec)

10

15

15

20

俯仰(arcsec)

10

15

15

20

持续推⼒(N)

35.2

17.6

35.2

17.6

峰值推⼒(N)

176

88

176

88

重量(kg)

3

2.9

4.4

4

 




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