| 应用领域 | 环保,生物产业,能源,电子,综合 |
|---|
淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼真空工艺快速加热炉RTP-100、
淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼真空工艺快速加热炉RTP-100
Φ4英寸兼容触摸屏式前装式
真空工艺快速加热炉RTP-100
RTP-100前装式真空工艺高速退火炉
RTP-100 前装式
真空工艺快速退火炉
设备尺寸：505 x 505 x 570 mm (WxDxH)
设备重量：约 55 kg
非常适合原型开发。
加热区域的顶部和底部配备IR（红外线）型加热器，最高温度可达1200℃，并可高速升温150K/秒。采用氮气吹扫方式的冷却方式，降温速度高达190K/min。（1200至400℃，此后25K/min。）
触摸屏用于轮廓程序控制。
除了创建温度控制、气体流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外，您还可以保存过程数据。
它可以加热最大100x100mm或Φ100mm的物体。
尽管桌面尺寸可实现最高温度1200℃的真空工艺快速加热炉。
兼容氮气吹扫、氧气吹扫、合成气（氢气+氮气）吹扫等。
由于工作区域是气体保护的，因此可用于存在污染问题的工艺或其他关键工艺。
加热由顶部和底部的 24 个 IR（红外线）加热器进行，可实现准确、快速的加热。
与适当的真空泵结合，可实现高达0.1 Pa (10 -3 hPa)的真空环境。
兼容氮气吹扫法的温度下降
标准配备触摸屏显示器。通过触摸操作轻松操作
主机上最多可注册50个50段（行）的温度控制程序。
兼容高速加热/冷却
配备高速红外线 (IR) 加热器，最高可升温至每分钟 9000°C 或更高（每秒 150°C 或更高）。当然，也可以以轮廓程序的任何速率升高温度。另外，在降温过程中，通过向腔室中供应冷却氮气，可以安全地进行冷却，而不会损坏处理后的器件表面。
兼容各种气体吹扫环境
最多可以安装4个MFC（质量流量控制器）系统，因此除了真空或大气环境之外，还可以在任何工艺气体吹扫环境中进行退火。不仅可以在配置文件程序中注册各种气体系统的开/关控制，还可以注册其流量，从而可以轻松再现各种环境。
简单的温度曲线设置
标配7英寸触摸屏。任何控制配置文件程序都可以在触摸面板上创建和保存，无需单独的外部 PC。最多可注册并执行 50 个 50 个步骤的温度控制程序。此外，标准配置还包括将实验数据保存到 USB 存储器的功能。通过 USB 存储器也可以轻松地将实验数据移动到任何 PC。
正面装载方式
腔室的开启和关闭采用手动前装方式。将晶圆放在托盘上后，向后滑动托盘并将控制杆移至锁定位置。
查看具体信息
前装式真空工艺快速加热炉（RTP 型）专为寻求紧凑、价格实惠的设备的客户而设计。除了多功能晶圆表面处理之外，该设备还可以灵活支持浆料烧结和有机成膜等多种应用。
有效加热面积为100x100x18mm，但通过使用可选的适配器，它可以支持Φ50mm和Φ75mm的晶圆。
标准配备1条质量流量控制器（MFC）气体管线，可通过程序（物体）自由设定气体流量并使用。总共可以添加4个气体模块，并且还可以使用质量流量控制器来控制气体流量。
腔室外壳可承受高达0.1Pa（10-3mbar）的真空度，因此通过适当选择要连接的真空泵，它也可以在高真空环境中使用。此外，该设备最重要的一点是它可以使用 IR（红外）加热器处理高达 70K/秒的高温升温速率。
配置文件程序由新型触摸屏控制器精确控制。您可以在触摸屏控制器（SPS控制器）上注册最多50个最多50段（线）的程序，因此您可以通过简单的操作调用并执行所需的加工程序。除了创建程序外，您还可以将执行过程的各种数据保存为 CSV 格式，因此您只需主机即可完成所有操作，而无需依赖外部 PC。
该厂商的其他产品
- MP-RH02 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦JFP点胶机锁头MP-RH-02
- MP-RH-STH-1-8 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦JFP超紧凑型贴片机拾放设备MPS型
- RTP150 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼高速退火加热系统RTP-150
- VPO1000-300 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦顶装式 真空工艺快速加热炉VPO-1000-300
- AZ9T 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦10倍光学变焦显微镜AZ9C
- HP220 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦高精度可编程热板HP-220
- RSS-160-S 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦RSS-110-S台式真空回流焊设备
- RSS-210S 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦台式真空回流焊设备RSS-210-S
采购中心
化工仪器网