VPO1000-300 淘淘西直销！日本UNITEMP/尤尼坦顶装式 真空工艺快速加热炉VPO-1000-300

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触摸屏型Φ12英寸兼容真空/工艺气体

高速退火加热系统VPO-1000-300

VPO-1000-300工艺气体高速退火炉

VPO-1000-300

工艺气体快速退火炉

设备尺寸：505 x 505 x 570毫米（宽x深x高）

设备重量：约105公斤

除了原型开发应用之外，它还可以集成到与 N2、H2 和甲酸兼容的在线系统中。与真空回流退火工艺和 LTO 烧结兼容！

加热区上下设有IR（红外线）型加热器，最高温度可达1000℃，并可高速升温40K/秒。采用氮气吹扫方式的冷却方式，降温速度高达190K/min。

触摸屏用于轮廓程序控制。

除了创建温度控制、气体流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外，您还可以保存过程数据。

它可以加热最大300x300mm或Φ300mm的物体。

真空工艺快速加热炉，尽管其桌面尺寸，最高温度可达1000℃。

兼容氮气吹扫、氧气吹扫、合成气（氢气+氮气）吹扫等。

由于工作区域是气体保护的，因此可用于存在污染问题的工艺或其他关键工艺。

加热由顶部和底部的 48 个 IR（红外线）加热器进行，可实现准确、快速的加热。

与适当的真空泵组合，可实现高达0.1Pa（10-3hPa）的真空环境。

兼容氮气吹扫法的温度下降

标准配备触摸屏显示器。通过触摸操作轻松操作

主机上最多可注册50个50段（行）的温度控制程序。

可与上下料机、机器人等组合集成到生产线中。

最高温度达到1000℃

标准配备设备外壳冷却装置。在确保安全的同时，最高温度可达1000℃。因此，它不仅可以轻松应对 SiAu、SiAl 和 SiMo 等退火工艺，还可以轻松应对糊料材料等烧结工艺。

兼容高速加热/冷却

配备高速红外线（IR）加热器，最高可升温至每分钟2400℃以上（每秒40℃以上）。当然，也可以以轮廓程序的任何速率升高温度。另外，在降温过程中，通过向腔室中供应冷却氮气，可以安全地进行冷却，而不会损坏处理后的器件表面。

兼容各种气体吹扫环境

最多可以安装4个MFC（质量流量控制器）系统，因此除了真空或大气环境之外，还可以在任何工艺气体吹扫环境中进行退火。不仅可以在配置文件程序中注册各种气体系统的开/关控制，还可以注册其流量，从而可以轻松再现各种环境。

简单的温度曲线设置

标配7英寸触摸屏。任何控制配置文件程序都可以在触摸面板上创建和保存，无需单独的外部 PC。最多可注册并执行 50 个 50 个步骤的温度控制程序。此外，标准配置还包括将实验数据保存到 USB 存储器的功能。通过 USB 存储器也可以轻松地将实验数据移动到任何 PC。

垂直室开/关

腔体可通过两侧操作按钮手动开启和关闭，也可通过外部信号自动开启和关闭，因此可串联安装。