美国NBM 外延生长微型激光脉冲沉积系统PLD
- 公司名称 昱臣半导体技术(香港)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/4/14 10:45:38
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 200万-400万 |
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应用领域 | 电子,综合 |
microPLD系统
专门为您的应用定制的多功能系统
NBM Design很高兴提供microPLD系统。对于想要开始使用PLD技术的预算有限的用户来说,微型PLD是启动系统。它适合有限的实验室空间,并且可以快速轻松地移动,使灵活的安装成为现实。
在需要避免交叉污染问题的情况下,微型PLD系统也是扩展PLD实验室的一种简单方法。
1. 激光辐射与靶的相互作用
2. 熔化物质的动态
3. 熔化物质在基片的沉积
4. 薄膜在基片表面的成核(nucleation)与生成
在*阶段,激光束聚焦在靶的表面。达到足够的高能量通量与短脉冲宽度时,靶表面的一切元素会快速受热,到达蒸发温度。物质会从靶中分离出来,而蒸发出来的物质的成分与靶的化学计量相同。物质的瞬时溶化率大大取决於激光照射到靶上的流量。熔化机制涉及许多复杂的物理现象,例如碰撞、热,与电子的激发、层离,以及流体力学。
在第二阶段,根据气体动力学定律,发射出来的物质有移向基片的倾向,并出现向前散射峰化现象。空间厚度随函数cosnθ而变化,而n>>1。激光光斑的面积与等离子的温度,对沉积膜是否均匀有重要的影响。靶与基片的距离是另一个因素,支配熔化物质的角度范围。亦发现,将一块障板放近基片会缩小角度范围。
第三阶段是决定薄膜质量的关键。放射出的高能核素碰击基片表面,可能对基片造成各种破坏。下图表明了相互作用的机制。高能核素溅射表面的部分原子,而在入射流与受溅射原子之间,建立了一个碰撞区。膜在这个热能区(碰撞区)形成后立即生成,这个区域正好成为凝结粒子的z佳场所。只要凝结率比受溅射粒子的释放率高,热平衡状况便能够快速达到,由於熔化粒子流减弱,膜便能在基片表面生成。
全自动PLD脉冲激光沉积系统概述:该系统为PC计算机全自动控制的立柜式系统,具有占地面积小、性价比高的优点。占地面积尺寸为26"x42"x44"。不锈钢立柜,带Auto Load/Unload自动上下载片功能,带预真空锁。
主要优点:
1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;
3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;
4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;