集成式3D共焦白光干涉仪测量头S mart

产品特性

Sensofar 集成式3D共焦白光干涉仪测量头S mart的重量约只有S neox的一半(6kg)，加上紧凑的外观使的它在安装上有更多选择，例如可以直接在生产在线安装做分析等。一般来说，在生产的环境中通常都会有震动或有害物质污染等因素而不适合放置量测仪器，但Sensofar集成式3D共焦白光干涉仪测量头S mart在开发时已经考虑这些因素，一体成形的设计使得它能承受外部污染或震动影响。

虽然S mart体积较于S neox小，但是同样保留了白光干涉、相位差干涉、共聚焦(Confocal)、多重聚焦四大功能，在光源部分同样采用LED光，客户可以自行弹性选择要460nm、530nm、630nm或白光等波段。

Sensofar融合共聚焦和干涉技术让设备同时拥有了粗糙度量测、三维形貌及薄膜厚度测量等功能，正是因为这种在技术融合，让S mart光学轮廓仪的性价比远高于其他同类型的设备。

S mart将显微图像、共聚焦图像、共聚焦轮廓、相位差干涉（PSI）、白光干涉（VSI）和高分辨率的薄膜厚度测量的功能集于一体。这种基于设计的Microdisplay技术，简明易学的软件接口使您只需要选对镜头，正确对焦并选好测量方式就能快速准确地获得所需的信息。