Sensofar经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪

一、产品概述——紧凑、灵活、强大

Sensofar经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪是款为工业和研究所设计的全新非接触式3D表面光学轮廓仪，用于工业和科研应用，其设计定位是个紧凑和灵活的系统。它设计简洁、用途多样。光学轮廓仪Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，确保了其性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜，开创性地将共聚焦和干涉技术结合在起，无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。

SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请利技术，在范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了丰富的技术实力。

二、Sensofar经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪主要应用

半导体晶圆应用、汽车零部件、消费电子、能源、材料表面、微电子、LED、微体古生物学、光学镜片加工、模具加工、钟表制造、腐蚀表面结构、摩擦学表面结构。

三、主要特点及功能

1） 共聚焦

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2） 干涉

白光垂直扫描干涉（VSI）是种广泛用于测量表面特性（如形貌或透明薄膜结构）的功能强大的技术。它适合测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的NA或者放大倍数变化，均可以提供纳米的垂直分辨率。

3） 多焦面叠加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。

4） 真彩色共聚焦图像

每个像素点都能还原真实的色彩，在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法，用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜。

四、主要优势：

1） 实时图像    

SENSOSCAN为您呈现共聚焦实时图像。我们的图像质量和速度进一步提升，在共聚焦照明模式下可达9帧/秒，在明场照明模式下高达30帧/秒。与此同时，还有多种实时图像模式选择。

2） 丰富的参数设定

通过调整参数可优化测量步骤。例如，优化自动对焦设定能够减少测量时间，采用多级的照明和优化扫描范围可观察复杂的3D形貌。优化后的测量参数可存储为单点（SMR）或多点（MMR）程序测量。

3） 一键3D测量  

用户只需找到测量位置 ， 点击3D测量按钮，SensoSCAN的软件将自动调整照明亮度，自动对焦，执行较佳的测量模式，将精准的测量结果于弹指间为您呈现。

4） 交互式的3D和2D视图提供多样的分析      

演示及渲染选项。内置测量软件有测量尺寸，角度，距离，直径，标注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解决各种分析任务的理想软件。您还可选择以下两套高阶软件来完成更复杂的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 进阶分析

更丰富的进阶分析功能可进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不规则形状），滤波分析，剪裁和提取轮廓等。用户可生成分析模版保证分析的连续性和一致性。