DY-2000A 纳米通用图形发生器

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公司名称 北京中科复华科技有限公司
品牌 其他品牌
型号 DY-2000A
产地北京
厂商性质 代理商
更新时间 2024/4/3 9:03:43
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图形发生器电子束曝光纳米结构

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北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器，拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。　　未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作，为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。　

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纳米图形发生器，离子束刻蚀/反应离子刻蚀/感应耦合等离子刻蚀磁控溅射/气相沉积/电子束蒸发镀膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻机、去胶设备等

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一种图形发生器，用于电子束、离子

束等带电粒子的曝光机，属于曝光机的图形

发生器硬件。本实用新型提供一种运算速度

快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机

用的图形发生器，它以高速数字信号处理器

为核心，通过通用串行总线接口和上位机实现通讯，该图形发生器不仅可以满足以三角形，矩形和梯形为基本曝光单元图形的曝光格式，而且增加了圆及圆环为具本曝光单元图形，解决了集成光栅器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本实用新型由接口电路、双端口存储器电路、数学信号处理器电路、数模转换电路、曝光标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路相互连接构。

曝光精度：100纳米

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