URE-2000/17/25/35/34AL 紫外光刻机

1． 技术参数

l UV光源：进口LED模块

l 曝光中心波长：365nm

l 光源平行性：2º

l ★曝光分辨率：0.8um-1um

l 曝光能量密度：>35mW/cm²可调

l 照度不均匀性：≤2.5%(∮150mm范围)

l ★曝光面积：160mm*160mm

l 光源寿命：2万小时

l 曝光设定：定时

l 曝光头工作模式：曝光位对准位自动切换（前后移动）

l 套准精度：±0.8-1 um

l 可执行曝光模式：真空接触、硬接触、压力接触、接近式，

l 间隙设定方式：数字设定曝光间隙，自动分离和消除间隙

l 样片、掩模版相对移动范围：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6º

l 掩模版找平方式：球气浮自动找平

l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″ 各一件

l 标配承片台 ： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

l 标准配件可兼容样片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制

l 可设计工作厚度：50mm

l ★双目双视场对准显微镜或者光学镜头+CCD+显示器：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍

l 双物镜可调距离范围：30mm-120mm

l ★显微扫描范围：Y:±40mm（电动，数字设定）

  设备尺寸：≤700mm