TFMS-LD反射光谱薄膜测厚仪

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公司介绍 主营产品

北京鸿瑞正达科技有限公司—实验室整体建设解决方案集成者：
鸿瑞正达主要服务于高等院校、科研院所和研发企业，专注于科研领域，助力科研成果转化。公司提供材料研究成套设备及整套解决方案，包括：高压科学材料、金属材料、电池研发、地质地矿材料、脆性材料、薄膜材料等研究领域的科研成套设备。

我们的服务理念是：让科研更高效、便捷。

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实验室设备，材料科学，质谱仪，电化学，电池，催化

产品简介：TFMS-LD 是一款反射光谱薄膜测厚仪，可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度，其测量膜

厚范围为15nm-50um，仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反

纤反射探头。仪器尺寸小巧，方便于在实验室中摆放和使用。

产品型号	TFMS-LD 反射光谱薄膜测厚仪
测量膜厚范围	15nm-50um
光谱波长	400 nm - 1100 nm
主要测量透明或半透明薄膜厚度	氧化物氮化物光刻胶半导体（硅，单晶硅，多晶硅等）半导体化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS 等）硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺) 金属膜
特点	测量和数据分析同时进行，可测量单层膜，多层膜，无基底和非均匀膜

	包含了 500 多种材料的光学常数，新材料参数也可很容易地添加，支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等体积较小，方便摆放和操作可测量薄膜厚度，材料光学常数和表面粗糙度使用电脑操作，界面中点击，即可进行测量和分析
精度	0.01nm 或 0.01%
准确度	0.2%或 1nm
稳定性	0.02nm 或 0.02%
光斑尺寸	标准 3mm,可以小至 3um
要求样品大小	大于 1mm
分光仪/检测器	400 - 1100 nm 波长范围光谱分辨率: < 1 nm 电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
光源	5W 的钨卤素灯色温： 2800K 使用寿命:1000 小时
反射探针	光学纤维探针， 400um 纤维芯配有分光仪和光源支架
载样台	测量时用于放置测量的样品
通讯接口	USB 接口，方便与电脑对接
TFCompanion 软件	强大的数据库包含两 500 多种材料的光学常数（n：折射率， K：消失系数）
	误差分析和模拟系统，保证在不同环境下对样品测量的准确性可分析简单和复杂的膜系