三丰Mitutoyo三坐标代理超高精度3D测量机

Takumi型号，具有精度的超高精度数控三坐标测量机

三丰Mitutoyo三坐标代理超高精度3D测量机

主要特点

• LEGEX系列是一款超高精度CNC 3D测量机，经过分析和消除误差因素，拥有世界高级别的精度。

• 最大允许长度测量误差：E0,MPE=(0.23+0.7L/1000)μm，与传统方法相比增加26%，通过利用“Takumi Meister System”培育的超高精度研磨技术和精加工技术实现精度。

• 主体底座采用精心选材，采用密封结构，实现高刚性、高阻尼性能。此外，我们使用FEM结构分析模拟进行应力分析，以确保几何运动精度，从而最大限度地减少由于负载波动而导致的变形。此外，我们还引进了驱动装置的结构、振动对策等多项实现超高精度的技术。

• 用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度长度测量单元（内部制造），该单元结合了热膨胀系数≒0的超高精度结晶玻璃标尺和高分辨率、高精度-高性能反射式线性编码器，具有高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制。

• 为了支持对各种工件进行简单且超高精度的测量，我们提供了多种选件，包括探头（接触式和非接触式）、数据处理设备和转台。

规格

X轴测量范围（mm）

500

700

700

900

Y轴测量范围（mm）

700

700

700

1000

测量范围Z轴（mm）

450

450

600

600

驱动速度 CNC模式 最大组合速度（自动）（mm/s）

200

200

200

200

驱动加速度（最大组合加速度）（mm/s²）

980

980

980

980

最小显示量(mm)

0.00001

0.00001

0.00001

0.00001

引导方式（各轴）

空气轴承

空气轴承

空气轴承

空气轴承

长度测量单位

线性编码器

线性编码器

线性编码器

线性编码器

测量物体大高度（mm）

700

700

850

850

主机气压(MPa)

0.5

0.5

0.5

0.5

本体耗气量(L/min)

（标准条件下）120L/min（气源时160L/min以下）

（标准条件下）120L/min（气源时160L/min以下）

（标准条件下）120L/min（气源时160L/min以下）

（标准条件下）120L/min（气源时160L/min以下）

测量台材质

铸铁

铸铁

铸铁

铸铁

测量台尺寸（安装面）（mm）

550x750

750×750

750×750

950x1050

测量对象最大装载质量（kg）

250

500

500

800

测量台测量对象固定方式（mm）

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

机身质量（含隔振台及控制器）（kg）

3500

5000

5100

6500