Cchip-0019 高深宽比紫外光刻机
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 苏州中芯启恒科学仪器有限公司
- 品牌
- 型号 Cchip-0019
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/1/31 13:31:03
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产品名称:高深宽比紫外光刻机(曝光机)
产品型号:Cchip-0019
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高深宽比紫外光刻机简介:
微流控芯片的设计结构一般深宽比较大,针对微流控芯片这一特点,中芯启恒自主研发生产了Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前LED光源,紫外波长365nm,光源纯度高,辐射能量均一可调。设备配有智能化触摸屏操作面板,外观比较传统光刻机体积更小,集成化度更高,不仅简化了操作流程,还进一步提高了工艺效率。
不仅如此,我们还对曝光系统进行了优化,将曝光过程中衍射误差降到极限,保证图案设计值与实际值一致,从而为芯片制作保驾护航。
以下是客户实测图片,结构高度92um,间距20um,请参考!
中芯启恒提供一站式微流控解决方案:
(1)PDMS/玻璃/PMMA等各种材质微流控芯片加工设备、耗材、试剂、配件等服务。
(2)提供微流控芯片光刻实验室、微流控芯片软注塑实验室、微流控芯片封合实验室、微流控实验系统平台组建服务。
(3)公司提供微流控芯片加工技术培训和微流控芯片使用技术培训。