电子级多晶硅软化抛光树脂

抛光树脂是由高度纯化、转型的H型阳树脂和OH型阴树脂混合而成，如果装填和操作得当，在初的周期中即可制备出电阻率大于18.0MΩ·cm和TOC小于10ppb的超纯水，无需化学再生。

在运输、储存和装填过程中，任何无机或有机物质的接触都会使树脂受到污染，从而降低出水水质；影响运行工况。因此必须保证所有用于装填、操作的设备和水不会污染树脂。所有与树脂接触的水都必须使用高纯水（所涉及到的水均指“高纯水”，即电阻率大于等于10MΩ·cm，同时TOC尽可能低于30ppb的水），所有接触树脂的设备或器具都要在使用前经过高纯水清洗。

如为换装树脂，设备中原有的旧树脂必须从树脂容器中移去，树脂容器内部清洁无杂质。

安装程序

向树脂罐中加水使液位高度在200-300mm或没过底部布水管，以防止装填树脂过程中底部排水装置受到冲击。但如果设备尺寸较小而拟采用树脂以浆水混合的方式填装也可不必事先加水。

将树脂装入树脂罐，可以直接将树脂从原包装袋中加入或在原包装容器中加入一些水成浆状装入树脂容器。装填过程中注意以下事项：

（1）禁止用任何机械泵转移树脂，许多类型的泵都会对树脂造成损害或带来一些污染；

（2）树脂装填过程中，不要同时打开两袋以上的树脂。以大限度减少树脂接触空气的时间，也使外来杂质污染树脂的可能性降到低；

（3）装填过程中随着装填料位的增加，树脂层面以上的水也会逐渐增加，如果水位高度高于树脂层面300mm以上，必须将多余的水抽出或排掉，以避免树脂在水中缓慢沉降而出现分层。但同时也需避免出现液位放干的情况，这会使空气在树脂层中形成气栓而影响出水。一旦出现树脂分层或形成气栓的情况影响出水，可采用清洁的压缩氮气自罐底通入，使树脂充分混合后即可再次通水使用；

（4）当使用FRP桶作为树脂罐时，应先将集水管留置于桶中再装填树脂（装填过程中集水管上口适当封堵以免混入树脂），在装填树脂过程中应适时的调整集水管的位置以使后能正常安装上盖。同时采用FRP桶作为树脂罐时，如感觉上口口径较小不好装填时，可以使用漏斗式容器辅助装填。

（5）应对树脂罐所使用的橡胶密封圈及集水器等零部件做好检查，如有破损必须更换。如集水器出现裂隙堵塞或串片松动，应做排除。树脂装填到位后，注入高纯水使罐内充满。后封装上盖，并将管线连接到位。