德国Diener Bell Jar 35 研究型等离子清洗机 不锈钢研究设备
- 公司名称 深圳市科时达电子科技有限公司
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- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/9/16 15:08:42
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德国Diener Bell Jar 35 研究型等离子清洗机
基本设备:。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm。腔室容积:约35升。供电电源:230V/16A气源:。3个质量流量控制器(MFCs)控制系统:。PCCE控制系统(Microsoft Windows XPe)发生器:。频率:40KHz, 功率 0-500W13.56MHz, 功率 0-300W。直流偏置电源或单极性脉冲,功率300W,电压600V,直流电。发生器为 0-99% 无级可调型
真空腔室:。硼硅玻璃材质的玻璃罩,直径315MMx高500MM真空泵:。规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)溅射源:。1个溅射源2"-3"+挡板(可为反应过程选配排烟管和进气口)基材支架:。直径140MM(可选择旋转型,基材加热器,基材冷却装置)。可切换为等离子预处现的电极(清洗,活化,蚀刻)压力测量:。Pirani其它选项:备件套件,压力计,腐蚀性气体设计结构,气瓶,减压器,加热板,温度显示器,加热型腔室,Faraday Box, 等离子体聚合配件,试墨水,氧气发生器,慢速通风装置,慢速抽吸装置,TEM样品架法兰,维护/服务,当地语言的文件,现场安装,包括培训,可应需求提供的其它选项。