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德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240

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本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240(图1)

该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。主要技术参数:PC控制软件RF发生器 0~3000W 脉冲模式腔体防腐处理,400*400*1500mm,240L腔体加热80℃带观察窗多路工艺气体通道,MFC控制 防腐处理HMDSO单体通道易燃易爆气体安全阀Gas Shower气浴电极设备外尺寸2000*600*1700mm进口真空泵组电压 3项400V




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