批量式电浆辅助气相沉积设备
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- 公司名称 北京瑞科中仪科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/1/18 11:23:42
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应用领域 | 环保,化工,电子 |
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批量式电浆辅助气相沉积设备(Batch Type Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)為一種使用化學氣相沉積技術,可為沉積反應提供能量。與傳統的CVD方法相比,可在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會降低薄膜質量。
此系統為專對派瑞林(Parylene)所設計,其腔體內部具有公自轉知特性,並批量式生產。而Parylene薄膜具有高均勻性、高填孔特性、高穿透性…等特性。可應用於光電元件封裝、電路板絕緣…等。
批量式电浆辅助气相沉积设备参数:
應用领域 | 腔體 |
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配置和優點 | 選件 |
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