PSEM 电磁铁探针台

Avantgarde 室温电磁铁探针台不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

PSEM系列室温电磁体探针台是一款专门针对室温可变磁场电测环境开发的探针台，提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。

特点

• 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样    更加便捷。

• 探针臂底座采用磁铁吸附固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到4英寸样品的任意位置（探针臂最多可安装6个，水平    磁场电磁铁探针台最多可安装4个）

• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线

• 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

• 电磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上

• 样品固定方式采用多孔分区吸附，有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm样品

• CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm