温度范围 | -55~200/300°C | 分辨率 | <2μm |
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真空盘可调节高度 | ±5mm | 台面精度 | 平面度:<10?μm |
X200M高低温手动屏蔽探针台拥有稳定可靠的测试平台,保证测试中的扎针质量。优异的光学系统结合分辨率<2μm的针座系统,确保扎针的稳定性。直流应用中,X200M高品质的电缆和三轴信号通路,可使DUT特性分析达到fA水平;射频应用中,通过缩短扩频模块与探针之间连接器的距离,可高效且更好地实现THz内器件高品质参数的提取。优异的三轴低漏电载物台选件,提高器件测试的信心。载物台的单手快速移动及升降、一体化真空开关等优化设计使操作流程更加简洁与人性化,无论是初学者还是经验者,使用起来都非常方便、易懂。
专门为升级和扩展所设计的各种选项, 可轻松实现如负载牵引系统、太赫兹系统、 辐照系统、1/f噪声等系统的搭载,X200M 系统也可根据您的未来项目需求重新配置。
高低温手动屏蔽探针台产品特点
机台可轻松实现 - 60~200/300°C 高低温测试。
提供芯片级I-V / C-V低噪声全 金属屏蔽测试系统方案。
可轻松实现太赫兹及扩频模块的 升级搭载。
多孔吸附式载物台设计,更好地 兼容薄晶圆固定。
优异的屏蔽系统可搭载高低温, 为芯片提供更加成熟稳定的老化 测试环境。
短轴式拉杆设计,将更加符合新 一代芯片系统测试的需求。
多种可选CHUCK类型,满足常 规及高压等特殊条件的测试。