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化工仪器网>产品展厅>物理特性分析仪器>测厚仪>白光干涉测厚仪>FSM 413 EC 晶圆厚度测量系统

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FSM 413 EC 晶圆厚度测量系统

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上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势,公司集研发创新于一体,专注于满足客户的各类特殊要求,一切以客户为中心。我们秉承“心怀良善、关爱人类”的宗旨经营环保产业,专注于大气环境污染物检测、传感器、过程分析仪器系统。我们将以诚恳的态度接受客户意见和建议,真心希望与各界同仁真诚合作共同发展。土壤重金属分析仪、激光光谱分析仪、紫外烟气分析仪、光谱温室气体分析仪等,同时拥有多个品牌授权合作资源,数千种进口检测仪器仪表产品及配件;产品类型涉及甲醛检测仪,气体分析仪及传感器,水质分析仪及电极,气象、水文仪器;实验室仪器设备及耗材试剂;电工仪表;无损仪表。

水质产品:
游动电流仪、(钙镁)、碱度/总碱度、水中油、阴离子表面活性剂、酸度、碱度、硅离子、碘离子、草甘膦(农药)、污染指数等。
铁离子、砷离子、六价铬、铜离子、锰离子、 铅离子、锌离子、总铬、镍离子、汞离子、银离子总铬、硼、硅、镉、亚铁、铝、钠、锡、锑tī)、钡(bèi)、铍(pí)、钾、钴等。水质生物毒性、大肠杆菌、活性氧等;
进口品牌仪器(珀金埃尔默、赛默飞、岛津、安捷伦、沃特世、AB、耶拿、日立等),主营产品有气相色谱、液相色谱、原子吸收光谱仪、紫外分光光度计、气质联用仪、液质联用仪;

主要合作品牌产品有:
美国Decatur 电波流速仪
美国GW 多普勒流速水位传感器
美国Global Water 直读流速仪、水质传感器、气象传感器等
美国Speedtech 声纳测深仪
加拿大Labplas 无菌采样袋
保加利亚Master 牛奶分析仪
保加利亚Lactoscan 乳品检测仪、体细胞计数仪
欧洲Elmetron水质检测仪


水质仪器合作品牌主要有:

哈希、哈纳、百灵达、YSI、WTW、NADLER、 RG、德国bbe、E+H、中国台湾LIC、德国NIVUS、日本HONDA、德国HEYL、德国Kuntze、美国HF Scientific、法国Tethys、美国SDI、美国 Qcontums、意大利 3S、英国Trace2o、英国Modern Water、中国台湾LIC

气体检测仪品牌主要有:
美国 ATI  华瑞 美国2B BW 英思科 德尔格 霍尼韦尔 梅思安 TSI 英国离子  英国科尔康 德国竖威 德图 菲索 法国菲尔德 新宇宙 理研 GrayWolf 德国尤尼


实验室分析器品牌主要有:

布鲁克 奥林巴斯 PE 赛默飞 马尔文 安捷伦 岛津 艾默生 海默生 IKA 耶拿 沃特世 AB 日立 雅马拓 梅特勒托利多 爱拓

传感器品牌主要有:
离子 霍尼韦尔 CITY 阿尔法 贝斯兰 费加罗 SUSA 根本 DDS

实验室试剂耗材品牌:
3M     美国洛德     西门子PLC     德国西马格
德国默克MERCK     色谱科SUPELCO     SIGMA-ALDRICH     默克密理博Millipore     普兰德BRAND     德国VITLAB
弗霓 ForNeeds     NUNC MYRONL麦隆 VWR      BRANSON必信能      DWK Acros ARA       QSP Nalgene
ALfa     Aesar     FISHER     AMRESCO 麦克林 阿拉丁 TCI J.T.Baker ReagCon     坛墨TMRM     伟业计量
阿尔塔     美国AIRMETRICS 富勒姆FLOM HQI     密勒Myratex

1、nalgene:广口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
2、NUNC/ABgene:存储板、深孔板、酶标板、检测板
3、Thermo移液器:F3移液器、F2移液器、F1移液器、novs电动移液器、E1可调间距移液器
4、QSP:吸头、加长吸头、带滤芯吸头、低吸附吸头、可立样品管
5、wheaton:培养基瓶、血清瓶、可穿刺盖、杜恩斯匀浆器、压盖器、起盖器
6. bioland各类实验室耗材:pcr板、pcr联管、pcr单管、滤芯吸头、pp包装瓶、移液管、细胞培养系列、细胞筛网
7、Fisher色谱纯,ACROS,Alfa Aesar 有机/无机化学试剂,药物化学试剂,基础化学试剂,色谱纯试剂,氘代试剂

THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
Agilent     Tektronix     Megger     IKA
GMC-Instruments KYORITSU FLUKE)     HANNA     VAISALA
CIRS        DRAGER  ATOMTEX     WTW
ATI     EPK     METTLER TOLEDO
GE     NEW COSMOS     JDSU     Mecasys
EXTECH     SONATEST(声纳)  3M QUEST     PTW     LAMOTTE    HIGH VOLTAGE     RIDGID     APogee


半导体测试设备


物料 电子元器件、芯片


电子仪表



非甲烷总烃在线监测仪,有机挥发物气体监测仪,沼气检测仪,大气环境在线检测仪,空气质量指数检测仪器,大气气象综合分析系统,林业大气环境检测仪,交通环境大气污染检测,恶臭工作站

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 医疗卫生,生物产业,能源,电子,制药

产品品牌:Frontier Semiconductor

产品型号:FSM 413 EC

产品描述:FSM413回波探头传感器使用具有红外(IR)干涉测量技术

晶圆厚度测量系统

非接触式厚度测量,可以测量背面研磨减薄和刻蚀后的晶圆,也可测量粘附在蓝膜或者其他载体上的有图形或凸起的晶圆,可应用于堆叠芯片和微机电系统。

优势:
       FSM413回波探头传感器使用具有的红外(IR)干涉测量技术,可以直接和测量从厚到薄的晶圆衬底厚度变化和总体厚度变化。配置单探头系统,可以测量一些对红外线透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,还可以测量常规有图形、有胶带、凸起或者键合在载体上晶圆的衬底厚度。配置双探头系统时,还提供晶圆整体厚度测量(包括衬底厚度和在光不能穿透的情况下的图形高度厚度)。选配功能可以测量沟槽深度和通孔深度(包括微机电中的高深宽比的沟槽和通孔)。另外微机电应用中薄膜厚度测量和凸块高度测量也可以选配。

基于FSM Echoprobe红外线干涉测量技术,提供非接触式芯片厚度和深度测量方法。

Echoprobe技术利用红外光束探测晶圆。 
Echoprobe可用于测量多晶硅、蓝宝石、其它复合物半导体,例如GaAs, InP, GaP, GaN    等。 
对晶圆图形衬底切割面进行直接测量。

 

晶圆厚度测量系统

行业应用:

主要应用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封装、TSV(硅通孔技术)、(MEMS)微机电系统、 侧壁角度测量等。
针对LED行业, 可用作检测蓝宝石或碳化硅片厚度及TTV 

其它应用:
·  沟槽深度测量
·  表面粗糙度测量
·  薄膜厚度测量
·  环氧厚度测量

Echoprobe™ 回波探头技术可提供对薄晶圆(<100um)的衬底厚度或粘结结构上的薄衬底进行直接和测量。




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