FETS-2000 高低温铁电测试系统

研禾科技FETS-2000高低温铁电测试系统可用于材料铁电性能测试中测试信号的输出和反馈信号的收集，可进行电滞回线测试、漏电流测试、疲劳测试、电击穿强度测试、小信号电容测试、PUND测试、印痕测试、保持力测试等铁电性能的检测，另外还有压电测试、介电测试、电阻率测试、电容充放电测试需配合另外升级选件实现。

FETS-2000是一款扩展灵活的高低温铁电测试系统，也是一款可替代德国aixACCT公司生产的TF Analyzer 2000铁电分析仪的国产铁电材料性能测试设备，可广泛地应用于如各种铁电/压电/热释电薄膜、厚膜、体材料和电子陶瓷、铁电传感器/执行器/存储器等领域的研究。

标准铁电参数测试主要性能指标：

a. 外接5 kV高压放大器（可扩展至10 kV）（国产、进口均适用）；

b. 动态电滞回线测试频率范围0.01 Hz ～ 5 kHz；

c. 最大电荷解析度：10 mC

d. 疲劳测试频率300 kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；

e. 漏电流测量范围 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA；

f. 配有高压击穿保护模块。

本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台（配铁电测试盒）或高低温探针台（配高压探针）、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，主控器提供内置驱动电压±40 V，并提供±100 V/200 V/500V可选，提供扩展外置高压放大器接口，可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现滞回，脉冲，漏电，IV等性能测试。

本测试系统铁电性能测试采用改进的Sawyer- Tower测量方法，与传统的Sawyer- Tower模式相比，此电路取消了外接电容，可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度，减少了对测试的影响环节，容易定标和校准，并且能实现较高的测量准确度。

该系统采用模块化设计，不同的模块对应不同的电特性测量。

铁电模块测试功能：

动态电滞回线测试DHM

静态电滞回线测试SHM

I-V特性

脉冲PUND测试

疲劳Fatigue

电击穿强度BDM

漏电流测试LM

电流-偏压

保持力RM

印迹印痕IM

可选的模块：

POM 模块实现极化测量功能

CVM模块实现小信号电容测试，获得C-V曲线

PZM模块实现压电特性测试

DPM模块测试介电性能

RTM模块测试电阻/电阻率性能

CCDM模块实现电容充放电测试

THM模块实现各性能的变温测量，变温区间可选。