MD15 氦检漏仪维修

专业提供安捷伦氦检漏仪维修，质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。氦质谱检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。本文以氦质谱检漏仪为例，介绍了该型检漏仪的工作原理及结构组成，分析了检漏仪5种常见故障的处理方法，总结了检漏仪在使用过程中应重点注意的事项。

氦检漏仪维修故障与处理

1、检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。氦质谱检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方。

①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。

②各电磁阀与阀门组件问的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5年以上时，有可能会存在密封失效的问题。

③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。