AE CESAR 0230 AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
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- 公司名称 江苏神州半导体科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/优仪
- 型号 AE CESAR 0230
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/6/2 15:27:09
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供货周期 | 现货 | 货号 | 60200055 |
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应用领域 | 电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
品牌 | AE | 型号 | CESAR?0230 |
M/N | 60200055 | 频率 | 2MHz |
输出功率 | 3000W | 设备状态 | Refurbished |
AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器,在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制,广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中,且具有优秀表现。Cesar 系列射频电源具有优秀的成膜能力,在半导体薄膜工艺中,具有成膜速度快,效率高,质量好的优点,在一定程度上能够提升产线效率和成品良率,具有十分广泛的应用。
AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 参数规格:
设备品牌:AE(Advanced Energy)
设别型号:Cesar 0230
AC 电源输入:3 phase~ +PE,200V~ ,50/60Hz,20.0A
RF 射频输出:3000W,~615V,2MHz
通讯接口:RS-232,User Port,Matchbox,Diagnostic
设备散热:风冷+水冷散热
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