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AE CESAR 0230 AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W

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      神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台,是国家火炬计划项目《等离子电源研发,应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲,于日本、新加坡、韩国分设办事处。

      神州科技为芯片产线,光伏产线,液晶面板制造产线,工业玻璃镀膜产线,LED新光源产线,以及医疗、科研真空,各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修,备件支持,设备租凭服务。神州团队严谨创新,高效热诚,服务世界半导体产业。








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供货周期 现货 货号 60200055
应用领域 电子/电池,电气,综合 主要用途 RF GENERATOR
品牌 AE 型号 CESAR?0230
M/N 60200055 频率 2MHz
输出功率 3000W 设备状态 Refurbished

AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器,在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制,广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中,且具有优秀表现。Cesar 系列射频电源具有优秀的成膜能力,在半导体薄膜工艺中,具有成膜速度快,效率高,质量好的优点,在一定程度上能够提升产线效率和成品良率,具有十分广泛的应用。

AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 参数规格:

设备品牌:AE(Advanced Energy)

设别型号:Cesar 0230

AC 电源输入:3 phase~ +PE,200V~ ,50/60Hz,20.0A

RF 射频输出:3000W,~615V,2MHz

通讯接口:RS-232,User Port,Matchbox,Diagnostic

设备散热:风冷+水冷散热                                                                          




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