AE CESAR 2730 AE 高频射频电源 CESAR 2730 RF Generator

AE 高频射频电源 CESAR 2730 RF Generator 采用了成熟可靠的Cesar平台，可以提供稳定的射频功率，能够承受等离子体工艺中苛刻的工艺条件。该平台可熟练地处理高负载失配情况，在额定反射功率下仍能保持*正常工作。Cesar射频发生器具有高度直观地操作菜单，可从大尺寸前面板LCD上操作，能够提高使用效率并降低使用成本。

AE 高频射频电源 CESAR 2730 RF Generator 参数规格

品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：CESAR 2730

AC Input：200V~，3 phase~+PE，50/60Hz，20.0A

RF Output：3000W，~615V，27.12MHz

通讯接口：CEX，RS-232C，Analog，ETHERNET，Profibus，Active Front Panel

设备散热：水冷+风冷散热

水冷水温：20℃~30℃

AE CESAR 2730 RF Generator 优点

1.采用了非常可靠地设计和优质部件，延长工艺正常运行时间

2.无需自定义装置研制周期

3.简化运行和提高灵活性

AE CESAR 2730 RF Generator 特点

1.紧凑的流线型设计和标准平台分装，易于更换

2.效率高，产生的热量少

3.LCD前面板配置便捷的综合操作菜单

4.CEX（相位同步）操作模式