美国MKS流量控制器GE50A系列原厂直采

美国MKS流量控制器GE50A系列原厂直采

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   GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，GE50A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

该GE50A数字控制质量流量控制器可配备RS485，PROFIBUS，EtherCAT的，或DeviceNetI / O。 数字电子控制利用快速和可重复响应的MKS控制算法在整个设备控制范围内设定值。 典型的反应时间是500毫秒的量级。 数字校准收益率校准气体设定精度为1％。 I / O协议旨在让GE50A轻松地与较小的编码代替MKS 1179A MFC的RS485和DeviceNet版本。

   一个标准的3英寸的足迹使得其无需修改现有的天然气生产线配置使用。 该GE50A采用了一些弹性体 - 只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。 所有湿润的表面是金属。 该GE50A带有氟橡胶密封件或可选布纳，Neoprene或的Kalrez标准，支持不同的气体需求。

   GE50A是通用的，弹性体密封的MFC，非常适用于各种需要流量控制能力从5 sccm到50 slm N2的应用当量。GE50A集成了比较新的数字流量控制电子设备以及久经考验的，获得热传感器和机械设计。

   GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I / O。数字化控制电子器件采用比较新的MKS控制算法，可提供快速，可重复的功能在整个设备控制范围内对设定点的响应。典型的响应时间在500毫秒的量级。

   包括数字校准，可产生设定点精度的1%在校准气体上。 GE50A的模拟和数字I / O可以轻松用于替换与1179A MFC相同的I / O类型。所有GE50A均包含Modbus。辅助I / O(不包括PROFINET?和EtherCAT?)。

   GE50A利用3sccm的MFC比较常使用的标准3英寸占位面积到50 slm的流量范围，无需修改现有的气体管线即可使用配置。 GE50A的设计采用了比较少的弹性体。有仅一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。

   否则，所有湿润的表面是金属的。 GE50A标配Viton?密封件以及Buna选件，Neoprene?，EPMD或Kalrez?允许设备使用需要以下气体之一的气体备择方案。 GE50A MFC具有常闭型或常开型阀。

MKS流量控制器GE50A系列技术参数：

   全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

   控制量程：2% to 的全量程。

   测量精度：全量程的1%

   灵敏度：全量程的0.1%

   热机时间：小于2Min.

   响应速度：小于2Sec.

   输入电压：±15VDC@100ma

   输出电压：0-5VDC

   连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

   数字：RS485或Device net或Profibus

   法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

   材质：316不锈钢。

   质保期：有限保修自售出之日起12个月。

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