Park XE-PPL 聚合物笔印刷

聚合物笔印刷 

Polymer Pen Lithography (PPL)聚合物笔印刷是新发展起来的图案化方法，结合了微接触印刷(uCP)和蘸笔印刷（DPL）的优点，可以实现低消耗、柔性的分子印刷，可能使得纳米图案化领域发生变革。 PPL是基于无悬臂的扫描探针印刷技术，无需掩膜版即可在超平方厘米的区域内，利用弹性体的笔尖在多种材料和基底上打印10nm 到90nm 范围内光斑尺寸的数字化图案。
当锋利的笔尖接触到基质，墨水被传递到接触点。PPL是一种可以直接拼写的技术，相对于典型打印技术可以更好的地生产复杂的图案，并且可以研究超材料结构和器件的光电性质。利用这种技术，可以制备由蛋白质等软物质组成的结构阵列，在生命科学领域有着潜在的用途。

Park XE-PPL：

解耦无弓型弯曲扫描器，使聚合物笔阵列均匀接触，当我们使用该系统扫描相当平整的硅晶圆时，100um和400um的运动范围，曲率分别小于2nm和10nm。

电动二维倾斜平台，聚合物笔阵列的电动调平，XY倾斜角度分辨率为5urad(0.0003°),XY倾斜角度范围为±3度。

扫描结果可以减少依赖扫描位置，无需软件处理

提供宽广的光学视图，分辨率<1um,可显示1mm×0.75mm视图且可以移动1cm×1cm,所以可以监测所有笔阵列区域

Z轴的长移动范围 (25um)，可以更好的控制接触力，而且可制作图案的尺寸范围也很大（50nm-25un）

聚合物笔印刷应用

扫描探针嵌段共聚物印刷 (SPBCL)

光束笔印刷 (BPL)

硬尖软弹簧印刷 (HSL)

多重模式的蛋白质阵列

材料科学与技术;纳米粒子图案化，多重纳米粒子阵列，集成电路

生物和药物学：蛋白质，抗体和DNA纳米阵列，可用于药物筛选，医学诊断，生物传感器和生物芯片的研究