VIL1000激光干涉光刻机

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干涉光刻机纳米图案

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公司介绍 主营产品

上海纳腾仪器有限公司是从事扫描探针显微镜(SPM)销售的专业公司。公司作为俄罗斯NT-MDT在中国大陆及港、澳地区的经销商(RESELLER)，在扫描探针显微镜(SPM)领域有多年的实践经验，拥有一支成熟的销售、技术团队，迄今已累计销售超过100台(套)仪器。

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VIL1000激光干涉光刻机

1、可实现同一晶圆上不同纳米结构的分区光刻；

2、制作各种一维、二维纳米图案；

3、最小线宽低于50nm；

4、与其他同类设备的功能对比图如下：

	电子束直写	激光直写	紫外光刻机	激光干涉光刻机
设备示例
代表厂商	德国的Raith和Vistec, 日本的JEOL和Elionix	海德堡和Raith	Eulitha	InterLitho
代表性产品型号	Raith EBPG Plus	海德堡 DWL 66+	Eulitha PhableR 100	VIL1000
主要用途	高分辨率掩模版制造和纳米结构的制备	对分辨率要求不高的掩模版制造和纳米结构制备	分辨率适中的纳米结构制备	大面积、低成本、高通量制备高分辨率周期性纳米结构，用于微纳光学、生物芯片等新兴应用
刻写的最小物理线宽	<10nm	~300nm	60nm	40nm
价格和维护成本	高	中	中	较低
自动化程度	全自动	全自动	部分手动	全自动
设备效率	低	低	高	高
需要掩模	否	否	是	否
特征尺寸调制难度	难，样品需要重新刻写	难，样品需要重新刻写	难，需要重新刻写模板	容易，几分钟可实现