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GSL-CKJS-560-B2 磁控溅射

具体成交价以合同协议为准

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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、军工、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。

主要产品:生命科学仪器,化学分析仪器,光学仪器,物性测试仪器及设备,环保设备/流量仪表,行业专用仪器,药物检测仪器,种子仪器,农业和食品仪器,石油仪器,煤炭仪器,测绘仪表,建筑仪器,公路仪器,地质仪器,电工仪器仪表,自动化仪表,气象仪器,环保仪器,电教器材,无线电仪器,小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质,高服务,高信誉”赢得各地市场,各个领域的好评和欢迎。

未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!

公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*

 

紫外可见分光光度计,原子荧光光度计,原子吸收分光光度计,紫外分光光度计,气相色谱仪,液相色谱仪,电子天平,旋光仪,熔点仪

应用领域 医疗卫生,环保,化工,文体,电子

主要特点:

1、真空度高。
2、可制备多种薄膜,金属、半导体、绝缘体等,应用广泛。
3、体积小,操作简便。
4、清理安装便捷。
5、控制可选一体化触摸屏控制

技术参数:

产品名称GSL-CKJS-450-B1磁控溅射
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC380V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氮/氩气(纯度99.99%以上),需自备实验气体气瓶(自带Ø10mm双卡套接头)及减压阀
4、场地:设备尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上
5、通风装置:需要
主要参数
1、主溅射室尺寸:Ø560×355mm梨形真空室
2、主溅射室真空度:5×10-6Pa
3、进样室尺寸: Ø255×430mm
4、进样室真空度:5×10-4Pa
5、永磁靶5套,靶材尺寸φ2″,各靶射频与直流溅射兼容(其中1个靶可溅射铁磁材料)
6、公转样品台6个工位,5个水冷工位,1个加热工位,加热工位最高温度 600℃±1℃
7、样品尺寸:φ1″,可放置6片
8、基片可加-200V负偏压
9、进样室可一次性安装6片样品,可对被镀样品进行退火处理,退火温度 800℃±1℃
10、进样室可对基片进行反溅清洗
11、进样室和主溅射室之间通过磁力样品机构进行样品传递
产品规格

整机尺寸:2700×900mm×2000mm。

标准配件1、电源控制系统1套
2、真空获得系统1套
3、真空测量装置1套


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