PVC3001/PVC3004 博思发MEMS热电堆真空传感器PVC3000系列

博思发科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 热电堆真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案。通过这种方案，可以测量从 1mTorr(0.13Pa)到一个标准大气压(760Torr，101KPa)的整个量程。

很显然，皮拉尼真空度传感器的测量上限仅达到 30Torr。一个压阻式压力传感器无法测量低于 10Torr 的真空度。一个昂贵的电容式压力传感器的测量下 限也仅有0.1Torr。PVC3000 系列传感器可以同时取代上述几种传感器。

此外，PVC3000 拥有超快响应时间(不超过 2mSec)和超低功耗(典型值：45mW)的特点。通过休眠的手段，功耗还可以进一步减少。比如说，把休眠触发设置为10Hz，那么功耗可以减少到 5mW。

PVC3000 可以倍设计位差分结构，将一个传感器暴露于真空当中(作为测量单元)，同时把另一个传感器放置于大气环境中(作为参考单元)。这样的差分结构可以实现自动内部温度补偿，以及排除其他可能造

成传感器漂移的环境因素，以此达到良好的重复性和长期稳定性。

PVC3000 采用了博思发的第二代热传导传感器芯片(PTCD20)，利用气体的热传导率与该气体的真空度成正比的原理设计而成。

PVC3000 系列传感器，现在向客户提供两种封装形式。PVC3001 封装在 TO5 的金属壳体中，PVC3004封装在 TO46 的金属壳体中。

特点

•量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）

•响应时间：小于 2 毫秒

•功耗：小于 5mW（10Hz 唤醒频率）

•利用差分结构实现自动内部温度补偿（依赖于

实际应用电路）

•可以浸泡于溶液中清洗，延长使用寿命

应用

• 密闭真空系统的泄漏检验

•真空包装机

•便捷式数字真空计

工作条件

•工作温度：-25~85℃

•存储温度：-40~90℃

•机械冲击：100g 峰值（5 次跌落，3 轴）