Centrotherm Activator150 Centrotherm 高温退火炉系统
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京亚科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 Centrotherm Activator150
- 产地 德国
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2021/9/3 13:32:31
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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 石油,能源,电子 |
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Centrotherm 高温退火炉系统-Activator 150
一、产品简介
Centrotherm Activator 150 高温炉设计用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工艺炉管和加热系统设，允许工艺温度达到 1850 ℃。
此外，Activator 150 系列的产品可以实现生长石墨烯生长。通过碳化硅升华生长石墨层可以获得高性能器件。
Centrotherm 新一代SiC工艺炉管的研发用以满足新兴的150 毫米 SiC工艺。
Centrotherm Activator 150-5 是为研发工作而特制的，而Centrotherm Activator 150-50专为大批量生产设计。
广泛的工艺范围实现了对自定义化程序的优化, 例如温度, 气路系统和压力。
二、典型应用
SiC器件高温退火 （注入后）
GaN器件退火
大面积石墨烯生长
SiC表面制备
三、产品特性
性能和优势
高活化
小表面粗糙度
最大温度可达 1850 ℃
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