Nano-2000 3D光学轮廓仪 白光干涉 台阶仪

产品概述
产品优势
 测量准确度重复性达到世界先流水平（中国计量科学研究院证书）
Nano-2000/3000 系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光
垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗
糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。

n 测量模式

移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）

n 样 品 台

150mm/200mm/300mm 样品台（可选配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5°

可选手动/电动样品台

n CCD 相机像素

标配：1280×960

n 视场范围

560×750um（10×物镜）

具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机

n 光学系统

同轴照明无限远干涉成像系统

n 光 源

高效 LED

n Z 方向聚焦

80mm 手动聚焦（可选电动聚焦）

n Z 方向扫描范围 精密 PZT 扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达 10mm )

n 纵向分辨率

＜0.1nm

n RMS 重复性*

0.005nm，1σ

n 台阶测量**

准确度 ≤0.75％；重复性 ≤0.1%，1σ

n 横向分辨率

≥0.35um（100 倍物镜）

n 检测速度

≤ 35um/sec , 与所选的 CCD