MSP-1S 镀膜仪 镀金机 总代 日本进口 离子溅射仪

用途：为SEM样品表面喷镀金属层。

原理：利用磁控电极在低电压下离子溅射金属靶材。

操作方法：将样品放入样品仓，根据镀层厚度设置喷镀时间，按动开始按钮后从预备排气到喷镀过程都将自动进行，喷镀结束后旋转泵自动停止，样品仓充入空气后可取出样品。

技术参数：

􀂾 真空泵连接真空室，控制单元提供电压。
􀂾 主机的真空室含有金－钯合金靶，玻璃罩样品底座。
􀂾 "O"型密封封闭真空系统.
􀂾 顶部的阴极和磁偏转体统连成一体。
􀂾 喷金仪上的工作电压固定，电流可调.
􀂾 仪器底座面积：20cmX35cmX34cm，重量14 kg。
􀂾 其他可选的靶材: 铂，Pt－Pd，Au。（客户需另外购买

主要特点：

MSP－1S 喷金仪主要是为钨灯丝扫描电子显微镜的样品制备而设计的喷金仪.
其主要部件包括:
􀂾 样品室
􀂾 真空系统
􀂾 喷金及控制系统

产品规格：

          1、仪器尺寸：长340mm*宽200mm*高350mm，台式设计内置旋转泵，重14kg.

         2、样品仓尺寸：内径120mm*高度65mm，材质为硬质玻璃。

         3、靶材电极尺寸：直径55mm，永磁体内置磁控管型。

         4、样品台尺寸：直径50mm，与阳极分离的浮动装配方式。

         5、标准靶材：Au-pd，可选配的靶材：Au,Pt-Pd,Pt.

         6、靶材到样品的距离：35mm，附带间距调节用的辅助台。

         7、电源：AC100V,10A,带接地线的3P插头。