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qirui RTP-150快速退火炉

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RTP-150快速退火炉

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上海骐锐信息科技有限公司专注于行业领域,高低温介电常数/高低温下电性能测试系统/工业自动化/精密仪器/航空航天高性能材料测试系统、传感器生产与技术服务。我们以技术创新为核心驱动力,致力于为客户提供高效、智能、定制化的设备解决方案,助力全球客户提升生产效率、优化产品质量并实现可持续发展。

核心技术优势:

✅ 研发实力

拥有一支由资深工程师、行业专家及高校科研团队组成的复合型研发团队,累计获得多项发明专利及实用新型专利

✅ 技术亮点

自主研发核心产品技术,如:高低温下介电常数/材料电性能高低温测试/模块化设备架构/能耗优化系统等。

采用数字化仿真/工业大数据分析/虚拟调试等先进技术,缩短研发周期30%以上。

✅ 产学研合作

与高校/科研院所名称建立合作,共同攻关行业关键技术难题。

 

产品与服务体系:

🔹 核心产品线

1. 智能生产线集成:面向制造业的自动化装配、检测及自动化测试系统。

2. 专用设备定制:材料测试系统、半导体精密加工设备、新能源电池模组封装设备等。

3. 智能运维平台:设备远程监控、预测性维护及数据分析服务。

🔹 服务模式

- 全生命周期支持:从需求分析、方案设计到安装调试、售后维保的一站式服务。

 

成功案例

研发的设备型号获奖项/认证

服务覆盖行业领域,如:汽车制造/生物医药/光伏新能源头部企业

我公司与以下国内外厂商建立了长期合作关系:日本安立公司、美国泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美国福禄克Fluke 公司、北京普源精电 、Rigol公司、美国安捷仑Agilent公司、中国台湾茂迪Motech公司、美国艾法斯 Aeroflex公司、 中国台湾固纬Goodwill公司、美国吉时利Keithley公司、日本岩崎Iwatsu公司、美国国家仪器NI公司、日本爱德万 Advantest公司、美国Magtrol公司、德国惠美Hameg公司、韩国Tescom公司、安徽41所、韩国金进 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

电子仪器仪表 材料测试

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 化工,能源,电子/电池,包装/造纸/印刷,电气

RTP-150快速退火炉

升温速度:150摄氏度每秒,可以用于大6英寸晶圆或者156mm x 156mm尺寸样品热处理。RTP-150可以支持惰性气体保护、低真空或高真空热处理。

技术规格:
- 温度:1000摄氏度,或1200摄氏度(选配);
- 升温速率:75摄氏度/秒,或150摄氏度/秒(选配);
- 降温速度:200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度);
- 温控均匀性:≤ 1.5%设定温度;
- 加热方式:红外卤素灯,顶部及底部加热;
- 灯管数量及功率:24支/21千瓦;
- 腔体冷却:水冷方式;
- 衬底冷却:氮气吹扫;
- 工艺气路:MFC控制,多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);
- 主机尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),约55Kg;


 RTP-150快速退火炉
仪器特点:
- 快速退火炉,有惰性气体保护、低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)等多个配置;
- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;
- 可存储50个程序,每个程序多分为50段控制;
- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;
- 优异的温控均匀性,的工艺重现性;
- 台式设计;


 
应用领域:
- 离子注入/接触退火;
- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介电材料;
- 晶体化,致密化;
- 太阳能电池片键合;
等等...

 

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